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  반도체 공정에서 진공 펌프의 역할과 종류, 그리고 최신 기술 동향 🏭🔬 반도체 공정에서 진공 펌프의 역할과 종류, 그리고 최신 기술 동향 🏭🔬🛠️ 반도체 제조에서 진공 시스템이 중요한 이유반도체 제조 공정은 미세하고 정밀한 환경이 요구되는 산업입니다. 웨이퍼 위에 초미세한 회로를 형성해야 하며, 이 과정에서 공기 중 이물질이나 가스 불순물이 치명적인 문제를 일으킬 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 진공 환경이 필수적으로 요구됩니다.진공은 단순히 공기를 제거하는 것이 아니라, 특정한 공정 가스만 선택적으로 유지하여 원하는 반응을 유도하는 역할도 합니다. 예를 들어, 증착(Deposition), 에칭(Etching), 이온 주입(Ion Implantation) 등의 공정은 특정 가스 환경에서만 정상적으로 진행될 수 있습니다.이 글에서는 반도체 공정에서 사용되는 다양한 진공.. Study 2025. 3. 7.

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  반도체 공정에서 사용되는 진공 펌프 종류와 역할 완벽 정리 🏭💨 반도체 공정에서 사용되는 진공 펌프 종류와 역할 완벽 정리 🏭💨🔎 반도체 공정에서 진공이 중요한 이유반도체 공정은 우리가 생각하는 것보다 훨씬 더 엄격한 환경 조건이 필요합니다. 대기 중에서 진행되는 공정도 많지만, 상당수의 공정은 진공 상태에서 이루어집니다.그 이유는 간단합니다. 공기 중 부유물은 반도체 제조에 치명적인 이물질이 될 수 있기 때문입니다. 반도체 회로는 극도로 미세한 단위로 만들어지며, 작은 먼지 하나만으로도 제품 불량이 발생할 수 있습니다.이러한 문제를 해결하기 위해 반도체 공정에서는 **진공 펌프(Vacuum Pump)**를 사용하여 챔버 내부의 공기를 제거하고, 오직 특정한 기체만을 남겨 공정을 진행합니다.이번 글에서는 반도체 공정에서 사용되는 다양한 진공 펌프의 종류와 원리,.. 건강 2025. 3. 7.